1、产品应用
通过和CAM进行比较，对曝光使用的底片进行光学缺陷的检测

2、产品规格
板件尺寸：26″×31″（660×760mm）
检测速度：90秒 （菲林尺寸：16″*22″、最小线宽2mil条件下）
线宽线距：1.4mil（36um）
缺陷类型：开路、短路、缺口、毛刺、针孔、尺寸违规、位置违规、孤立点

适用底片：银盐片/重氮片/镀铬玻璃
3、产品特点
检测＠精度高，可检々测最小线宽20%缺陷
线阵相＠ 机的高扫描速率，cam切换时间较♀短
设备操作简便，便于现场人员迅速上手
关键部件国外进口，保证№设备稳定性